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空氣——空分——粗氦、氦氣——純氦、氖氣——分離——純化——純氦氣
3、氫液化法：工業(yè)上采用氫液化法從合成氨尾氣中提氦。該法工藝是低溫吸附清除氮、精餾得到粗氦，加氧催化除氫及氦的純化，制得99.99%的純氦氣。
原料氣——除氮——精餾——除氫——純化——氦氣
4、高純氦制法：將99.99%的純氦進(jìn)一步用活性炭吸附純化制得99.999%的高純氦氣。

氦3是自然界中氦的穩(wěn)定同位素，原子量為3.016，原子核由2個(gè)質(zhì)子和一個(gè)中子組成。通常情況下，氦3為無色、無味、無毒、不燃燒的惰性氣體，在0℃及0.101325MPa下密度是0.1345kg/m3。

氦存在于整個(gè)宇宙中，按質(zhì)量計(jì)占23%，僅次于氫。但在自然界中主要存在于天然氣體或放射性礦石中。在地球的大氣層中，氦的濃度十分低，只有5.2萬分。在地球上的放射性礦物中所含有的氦是α衰變的產(chǎn)物。氦在某些天然氣中含有在經(jīng)濟(jì)上值得提取的量，可以含有7%，在美國的天然氣中氦大約有1%，在地表的空氣中每立方米含有4.6立方厘米的氦，大約占整個(gè)體積的0.0005%，密度只有空氣的7.2分，是除了氫以外密度小的氣體。

制備方法
1、冷凝法：天然氣提氦在工業(yè)上采用冷凝法，該法工藝包括天然氣的預(yù)處理凈化、粗氦制取及氦的精制等工序，制得99.99%的純氦氣。
天然氣——凈化——粗氦——精制——氦氣
2、空分法：一般采用分凝法，從空氣裝置中提取粗氦、氖混合氣,由粗氦、氖混合氣制純氦、氖混合氣,經(jīng)分離及純化，制得99.99%的純氦氣。

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