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1777年，法國化學(xué)家拉瓦錫提出燃燒的氧化學(xué)說，指出物質(zhì)只能在含氧的空氣中進(jìn)行燃燒，燃燒物重量的增加與空氣中失去的氧相等，從而了全部的燃素說，并正式確立質(zhì)量守恒定律。從嚴(yán)格意義上講，發(fā)現(xiàn)氧元素的為瑞典化學(xué)家舍勒，而確定氧元素化學(xué)性質(zhì)的為法國化學(xué)家拉瓦錫。 [3] 
在1608年，Cornelius Drebbel了加熱硝石（，KNO?）能釋放氣體。這就是氧氣，然而并沒有對(duì)它進(jìn)行。

電解制氧法 
把水放入電解槽中，加入氫氧化鈉或氫氧化鉀以提高水的電解度，然后通入直流電，水就分解為氧氣和氫氣。每制取一立方米氧氣，同時(shí)獲得兩立方米氫氣。用電解法制取一立方米氧氣要耗電12～15千瓦時(shí)，與上述兩種方法的耗電量（0.55～0.60千瓦時(shí)）相比，是很不經(jīng)濟(jì)的。所以，電解法不適用于大量制氧。另外同時(shí)產(chǎn)生的氫氣如果沒有妥善的方法收集，在空氣中聚集起來，如與氧氣混合，容易發(fā)生極其劇烈的爆炸。所以，電解法也不適用于家庭制氧。

分子篩制氧法（吸附法） 
利用氮分子大于氧分子的特性，使用特制的分子篩把空氣中的氧分離出來。首先，用壓縮機(jī)迫使干燥的空氣通過分子篩進(jìn)入抽成真空的中，空氣中的氮分子即被分子篩所吸附，氧氣進(jìn)入內(nèi)，當(dāng)內(nèi)氧氣達(dá)到一定量（壓力達(dá)到一定程度）時(shí)，即可打開出氧閥門放出氧氣。經(jīng)過一段時(shí)間，分子篩吸附的氮逐漸增多，吸附能力減弱，產(chǎn)出的氧氣純度下降，需要用真空泵抽出吸附在分子篩上面的氮，然后重復(fù)上述過程。這種制取氧的方法亦稱吸附法.利用吸附法制氧的小型制氧機(jī)已經(jīng)開發(fā)出來，便于家庭使用。

因發(fā)現(xiàn)氧而獲得的榮譽(yù)由3位化學(xué)家分享：一個(gè)英國人，一個(gè)瑞典人，還有一個(gè)法國人。約瑟夫·普里斯特利是位發(fā)布氧元素聲明的人，在1774年由聚焦陽光到（HgO），然后收集釋放出的氣體實(shí)現(xiàn)。他注意到蠟燭在這里燃燒的更明亮了，而且能使呼吸變得更簡單。普里斯特利不知道的是，卡爾·威爾海姆·舍勒（Carl Wilhelm Scheele）在1771年6月就制取了氧。他寫下了他的發(fā)現(xiàn)說明，但直到1777年才發(fā)布。拉瓦錫也聲稱發(fā)現(xiàn)了氧，并且他提議這種新的氣體叫做oxy-gène，意思是形成酸的，因?yàn)樗J(rèn)為這種元素是所有酸性物質(zhì)的基礎(chǔ)。
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